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J-GLOBAL ID：200902120140447843   整理番号：99A0763365

材料科学 金属/ダイヤモンド薄膜の接合特性とその制御

Materials Science. Control of Metal/Diamond Junctions Properties.

著者 (6件)： 山中貞則 (電総研) ,  大串秀世 (電総研) ,  渡辺幸志 (電総研) ,  三好比呂喜 (電総研) ,  竹内大輔 (電総研) ,  梶村こう二 (電総研)
資料名： 電子技術総合研究所い報  (Bulletin of the Electrotechnical Laboratory)
巻： 63  号： 1/2  ページ： 21-27  発行年： 1999年01月 
JST資料番号： F0014A  ISSN： 0366-9092  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマCVD蒸着により,CH<sub>4</su...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体-金属接触  (BM03084G)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (2件)： 材料科学 ,  ダイヤモンド薄膜