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J-GLOBAL ID：200902120242138624   整理番号：96A0818998

クォータ・ミクロン時代のEBテスティング

Electron Beam Testing in the Quarter-Micron Technology Era.
著者 (2件)：
久慈憲夫

久慈憲夫 について

(NTT LSI研)

NTT LSI研 について

, 
竹田忠雄

竹田忠雄 について

(NTT LSI研)

NTT LSI研 について


資料名：
電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)

電子情報通信学会大会講演論文集 について


巻： 1996  号： Society C2  ページ： 140-141  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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EBテスティングはLSIの故障解析の中心的役割を果たしている...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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LSI【IC】

LSI【IC】 について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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EB

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