ポリジメチルシロキサン(PDMS)合成ゴムにおける三次元マイクロチャネルの製造

JO B-H; VAN LERBERGHE L M; MOTSEGOOD K M; BEEBE D J

文献

J-GLOBAL ID：200902120355669170 整理番号：00A0433928

ポリジメチルシロキサン(PDMS)合成ゴムにおける三次元マイクロチャネルの製造

Three-Dimensional Micro-Channel Fabrication in Polydimethylsiloxane(PDMS) Elastomer.

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資料名：
巻： 9 号： 1 ページ： 76-81 発行年： 2000年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

近年,MEMSをベースとしたマイクロフルイディクスシステムの...

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固体デバイス製造技術一般

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