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J-GLOBAL ID：200902120504553806   整理番号：01A0496915

21世紀を支える表面技術 形状記憶合金スパッタ膜 最近の話題

著者 (3件)： 沢口孝宏 (金材技研) ,  佐藤守夫 (金材技研) ,  石田章 (金材技研)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 52  号： 1  ページ： 76-77  発行年： 2001年01月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1)一方向及び二方向形状記憶効果を利用した形状記憶合金薄膜ア...

シソーラス用語： *形状記憶合金 ,...

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分類 (3件)： 制御機器一般  (IC02010N) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の金属組織学  (WB01040Y)

引用文献 (11件)：

• 1) 藤田博之; マイクロマシンの世界 (工業調査会, 1992)
• 2) 石田章, 武井厚, 宮崎修一; 表面技術, 46, 628 (1995)
• 3) A. Ishida, A. Takei, and S. Miyazaki; Thin Solid Films, 228, 210 (1993)
• 4) 石田章; 金属学会誌, まてりあ (2000), 印刷中
• 5) E. Makino, T. Mitsuya, and T. Shibata; Sensors and Actuators, 79, 128 (2000)

タイトルに関連する用語 (4件)： 21世紀 ,  形状記憶合金 ,  スパッタ膜 ,  話題