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J-GLOBAL ID：200902120545942019   整理番号：00A0482149

テープ光電光度法を用いる大気中のC₅F₈モニターの開発

著者 (2件)： 中野信夫 (理研計器) ,  長島珍男 (工学院大 工)
資料名： 月刊エコインダストリー  (Eco Industry)
巻： 5  号： 5  ページ： 20-26  発行年： 2000年05月 
JST資料番号： L2960A  ISSN： 1342-3037  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 地球温暖化係数の低いドライエッチングガスとしてオクタフルオロ...

シソーラス用語： *ドライエッチング ,...
準シソーラス用語： 汚染監視 ,...

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分類 (2件)： 大気中の汚染物質の各種分析  (CC08060A) ,  産業衛生,産業災害  (GB05000S)

物質索引 (2件)： メチルオレンジ ,  オクタフルオロシクロペンテン

タイトルに関連する用語 (6件)： テープ ,  光電 ,  光度 ,  大気中 ,  モニター ,  開発