ゾル-ゲルプロセスで堆積した透明で伝導性のITO薄膜の光学的電気的特性

文献

J-GLOBAL ID：200902120638149513 整理番号：01A0178141

Optical and electrical properties of transparent conductive ITO thin films deposited by sol-gel process.

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巻： 377/378 ページ： 455-459 発行年： 2000年12月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

石英ガラス基板上にITO薄膜を標記方法で作製した。出発溶液を...

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酸化物薄膜 , 光物性一般 , 半導体結晶の電気伝導

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