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J-GLOBAL ID:200902120704590153   整理番号:02A0197336

光スキャナ中にエキステンダを持つ圧電バイモルフの動的および静的挙動

Dynamic and static behavior of piezoelectric bimorphs with extenders in optical scanners.
著者 (8件):
資料名:
巻: 2000  号: Vol.2  ページ: 1093-1096  発行年: 2000年 
JST資料番号: A0437C  ISSN: 1051-0117  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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端部で曲線を描く2個のバイモルフを使った(Double”J”...
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分類 (3件):
分類
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圧電デバイス  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  光デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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