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J-GLOBAL ID：200902120795394807   整理番号：99A1033935

インテリジェントCMP(PNX200:PASCAS)の開発 第2報 装置構成

著者 (9件)： 小林一雄 (岡本工作機械製作所) ,  左光大和 (岡本工作機械製作所) ,  山本栄一 (岡本工作機械製作所) ,  田中潔 (岡本工作機械製作所) ,  佐々木直樹 (岡本工作機械製作所) ,  児玉光測 (岡本工作機械製作所) ,  粟野元一郎 (岡本工作機械製作所) ,  林喜宏 (NEC) ,  小野寺貴弘 (NEC)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1999  号： 秋季  ページ： 232  発行年： 1999年09月13日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： CMP ,  開発 ,  装置構成