文献

J-GLOBAL ID：200902120933030455   整理番号：94A0238980

3′′φウエハによる光デバイス開発 (2) リッジ導波路形成技術の開発

Development of optoelectronic devices with 3′′φ wafer. 2. Formation for ridge waveguide on 3′′φ wafer.

著者 (7件)： 永井豊 (三菱電機) ,  国次恭宏 (三菱電機) ,  久義浩 (三菱電機) ,  島顕洋 (三菱電機) ,  北野俊明 (三菱電機) ,  佐藤和彦 (三菱電機) ,  池田健志 (三菱電機)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 3  ページ： 1061  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウエハ ,  光デバイス ,  開発 ,  リッジ導波路