La0.75Ca0.25MnOx薄膜のパルスエキシマレーザによるエッチング

DHOTE A M; SHREEKALA R; PATIL S I; OGALE S B; VENKATESAN T; WILLIAMS C M

文献

J-GLOBAL ID：200902120956124503 整理番号：96A0053172

La_0.75Ca_0.25MnO_x薄膜のパルスエキシマレーザによるエッチング

Pulsed excimer laser etching of La_0.75Ca_0.25MnO_x thin films.

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資料名：
巻： 67 号： 24 ページ： 3644-3646 発行年： 1995年12月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

巨大磁気抵抗を示す標記薄膜の波長248nm,パルス幅20nm...

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レーザ照射・損傷 , その他の無機化合物の電気伝導

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