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J-GLOBAL ID：200902120968299457   整理番号：02A0570755

ギガビット時代の高清浄度環境 高親水表面を利用した改良インピンジャー捕集法とこれを用いたクリーンルーム空気中の酸性,塩基性汚染物質の自動モニタ

Ultra Pure Environment for Ultra Large Scale Integrated Circuits. Improved Impinger Air Sampling Method by Using Highly Hydrophilic Surface and its Application to Automatic Monitor for Acidic or Basic Contaminations in Cleanroom Air.

著者 (2件)： 長谷潮 (NEC 環境技研) ,  佐藤右一 (NEC 生産技研)
資料名： エアロゾル研究  (Journal of Aerosol Research)
巻： 17  号： 2  ページ： 83-88  発行年： 2002年06月20日 
JST資料番号： L0641A  ISSN： 0912-2834  CODEN： EAKEEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： インピンジャ式捕集管とイオンクロマトグラフを組合わせたクリー...

シソーラス用語： *空気監視 ,...
準シソーラス用語： 大気汚染質 ,...

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分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  各種物理的手法  (CC01030W)

引用文献 (5件)：

• FUJIMOTO, T. Earozoru Kenkyu. 1999, 14, 19-26
• SUZUKI, Y. 18th Annual Technical Meeting on Air Cleaning and Contamination Control. 2000, A-22
• HASE, U. Kukiseijyo. 1998, 35, 291-297
• DIONEX Corporation. Installation Instructions and Troubleshooting Guide Column and IONPAC AS12A Analytical Column. 1998, 24-45
• DIONEX Corporation. Application note, Application update 138. 1998, 1-3

タイトルに関連する用語 (12件)： ギガビット ,  清浄度 ,  環境 ,  親水 ,  インピンジャー ,  捕集 ,  クリーンルーム ,  空気中 ,  酸性 ,  塩基性 ,  汚染物質 ,  モニタ