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J-GLOBAL ID：200902121180057521   整理番号：01A0333986

アークイオンめっき法でTi_1-xAl_xN膜を合成するためのホットプレスTi-Alターゲット

Hot-pressed Ti-Al targets for synthesizing Ti_1-xAl_xN films by the arc ion plating method.

著者 (4件)： KIMURA A (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  MURAKAMI T (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  YAMADA K (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  SUZUKI T (Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 382  号： 1/2  ページ： 101-105  発行年： 2001年02月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti及びAl粉体を同一原子比で混合し,650,800,950...

シソーラス用語： *チタン化合物 ,...

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分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： アークイオンめっき ,  ホットプレス ,  Ti-Al ,  ターゲット