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J-GLOBAL ID：200902121469939689   整理番号：95A0025081

異なる3種の分析技術による超純水中のppbレベルの全シリカの定量

Determination of total silica at ppb levels in ultrapure water by three different analytical techniques.
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著者 (2件)：
CHU T

CHU T について

(Balazs Analytical Lab., CA)

Balazs Analytical Lab., CA について

, 
BALAZS M K

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(Balazs Analytical Lab., CA)

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資料名：
Proceedings. Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference  (Proceedings. Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference)

Proceedings. Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference について


巻： 1993  号： Water Proceedings  ページ： 140-156  発行年： 1993年 
JST資料番号： W0077A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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超純水中のコロイド状シリカ(S)はウエハ表面に吸着し悪影響を...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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純水

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シリカ

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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,  無機化合物の各種分析 
(CC08024Y)

無機化合物の各種分析 について

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超純水

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, 
シリカ

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, 
定量

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