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J-GLOBAL ID：200902121520117575   整理番号：99A0042862

環境により優しい,水でキャスティングと現像ができるポジレジストの設計と予備的研究 モデルとフィージビリティスタディ

Design and Preliminary Studies of Environmentally Enhanced Water-Castable, Water-Developable Positive Tone Resists: Model and Feasibility Studies.

著者 (6件)： HAVARD J M (Univ. California, CA) ,  PASINI D (Univ. California, CA) ,  FRECHET J M J (Univ. California, CA) ,  MEDEIROS D (Univ. Texas, TX) ,  YAMADA S (Univ. Texas, TX) ,  WILLSON C G (Univ. Texas, TX)
資料名： ACS Symposium Series (American Chemical Society)  (ACS Symposium Series (American Chemical Society))
号： 706  ページ： 262-275  発行年： 1998年 
JST資料番号： H0588B  ISSN： 0097-6156  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリ(2-イソプロペニル-2-オキサゾリン)を用い標題レジス...

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： ポジレジスト ,...

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分類 (2件)： その他の高分子材料  (YH07150C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 環境 ,  水 ,  キャスティング ,  現像 ,  ポジレジスト ,  設計 ,  予備的研究 ,  モデル ,  フィージビリティスタディ