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J-GLOBAL ID：200902121587779181   整理番号：93A0867455

多層系でのAl/Au低温界面反応による非晶質Al_1-xAu_x膜の形成

Formation of Amorphous Al_1-xAu_x Films as a Consequence of Low-Temperature Al/Au-Interface Reactions in a Multilayered System.

著者 (4件)： SIBER A (Univ. Konstanz, Konstanz, DEU) ,  MARIEN J (Univ. Konstanz, Konstanz, DEU) ,  KOCH T (Univ. Konstanz, Konstanz, DEU) ,  ZIEMANN P (Univ. Konstanz, Konstanz, DEU)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 57  号： 3  ページ： 267-270  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビームスパッタでAl/Au多層膜を作製し,電気抵抗をそ...

シソーラス用語： イオンビームスパッタリング ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多層 ,  Al ,  Au ,  低温 ,  界面反応 ,  非晶質