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J-GLOBAL ID：200902121914988016   整理番号：96A1017287

Cleaning and polishing as key steps for smart-cut SOI process.

著者 (9件)： MORICEAU H (CEA/G, Grenoble) ,  MALEVILLE C (CEA/G, Grenoble) ,  CARTIER A M (CEA/G, Grenoble) ,  ASPAR B (CEA/G, Grenoble) ,  SOUBIE A (CEA/G, Grenoble) ,  BRUEL M (CEA/G, Grenoble) ,  POUMEYROL T (CEA/G, Grenoble) ,  METRAL F (SOITEC SA, Grenoble) ,  AUBERTON-HERVE A J (SOITEC SA, Grenoble)
資料名： Proceedings. IEEE International SOI Conference  (Proceedings. IEEE International SOI Conference)
巻： 1996  ページ： 152-153  発行年： 1996年 
JST資料番号： W0784A  ISSN： 1078-621X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： SMART ,  SOI