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J-GLOBAL ID：200902122119239818   整理番号：98A0877265

レーザーアブレーション法により作製した可視発光Al₂O₃薄膜の特性

Characteristic of visible light emitting Al₂O₃ thin films prepared by laser ablation method.

著者 (4件)： 石垣壮洋 (近畿大 理工) ,  松谷貴臣 (近畿大 理工) ,  松栄宏明 (近畿大 大学院) ,  中山斌義 (近畿大 大学院)
資料名： 近畿大学理工学部研究報告  (Journal of the Faculty of Science and Engineering, Kinki University)
号： 34  ページ： 53-57  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： S0403A  ISSN： 0386-4928  CODEN： KDRKBB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： N₂気相中でAlのKrFレーザアブレー...

シソーラス用語： レーザ蒸着 ,...

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分類 (2件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザーアブレーション法 ,  作製 ,  Al2O3 ,  薄膜