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J-GLOBAL ID：200902122132517118   整理番号：99A0830358

微細形彫放電加工によるマイクロ部品形状測定用探針の製作 X型及びX-Z型探針の製作

Fabrication of Probes for Profile Measurement of Microparts by Micro Die-sinking EDM. Fabrication of X and X-Z Type Probes.

著者 (3件)： 谷村尚 (慶応大 大学院) ,  山口哲司 (慶応大 理工) ,  三井公之 (慶応大 理工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65  号： 9  ページ： 1296-1300  発行年： 1999年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： トンネル電流を利用して微小表面を非接触測定する座標測定機用の...

シソーラス用語： *放電加工 ,...
準シソーラス用語： 探針

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (10件)：

• 中村明信. デュアルサーボ式STMの開発. 精密工学会誌. 1996, 62, 6, 850
• 熊田毅史. 粗微動連動制御機構による表面粗さ測定に関する研究-装置の構成と2,3の実験結果-. 精密工学会誌. 1997, 63, 10, 1439
• 丸山六男. 光学的方法による小穴内径測定装置の開発. 精密工学会誌. 1996, 62, 1, 145
• 秋山伸幸. 微小径深穴用光学式内径測定装置の開発. 精密工学会誌. 1996, 62, 4, 584
• MASUZAWA, T. Vibroscanning Method for Nondestructive Measurement of Small Holes. Ann. CIRP. 1993, 42/1, 589

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細 ,  形彫放電加工 ,  マイクロ部品 ,  測定用探針 ,  製作 ,  探針