スパッタ無定形炭素による薄膜電極の開発

SCHLESINGER R; BRUNS M; ACHE H-J

文献

J-GLOBAL ID：200902122206589167 整理番号：97A0265579

スパッタ無定形炭素による薄膜電極の開発

Development of Thin Film Electrodes Based on Sputtered Amorphous Carbon.

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巻： 144 号： 1 ページ： 6-15 発行年： 1997年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

RFマグネトロンスパッタした10~500nm厚炭素による新型...

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電気化学一般 , 電解装置 , その他の無機化合物の薄膜

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