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J-GLOBAL ID:200902122808543087   整理番号:97A0585275

改良形パッケージング応用のための金属化ポリマシート上の酸化タンタル薄膜コンデンサの研究

Study of Tantalum Oxide Thin Film Capacitors on Metallized Polymer Sheets for Advanced Packaging Applications.
著者 (6件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 117-122  発行年: 1997年05月 
JST資料番号: W0590A  ISSN: 1070-9894  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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酸化タンタル薄膜コンデンサを金属化ポリイミドシート基板上に作...
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分類 (1件):
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集積回路一般 

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