付着力のあるメタライゼーションを得るための化学蒸着ダイヤモンド基板へのアルミナ薄膜の作製とキャラクタリゼーション

MENON E S K; DUTTA I

文献

J-GLOBAL ID：200902123249205385 整理番号：99A0341517

付着力のあるメタライゼーションを得るための化学蒸着ダイヤモンド基板へのアルミナ薄膜の作製とキャラクタリゼーション

Processing and characterization of alumina thin films on chemically vapor deposited diamond substrates for producing adherent metallizations.

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巻： 14 号： 2 ページ： 565-577 発行年： 1999年02月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電子パッケージに使用されている絶縁性アルミナ膜をダイヤモンド...

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半導体薄膜 , 固体デバイス材料

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