文献

J-GLOBAL ID：200902123959016891   整理番号：93A0610370

コールドウォール有機金属クロライドVPE (I): AlGaAs

Cold Wall MO-Chloride Vapor Phase Epitaxy. (I): AlGaAs.

著者 (7件)： こうきつ明伯 (東京農工大 工) ,  関寿 (東京農工大 工) ,  武藤有弘 (東京農工大 工) ,  鈴木秀典 (東京農工大 工) ,  三浦祥紀 (住友電気工業) ,  竹本菊郎 (住友電気工業) ,  鍛治幹雄 (住友電気工業)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 1  ページ： 318  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウォール ,  有機金属 ,  クロライド ,  AlGaAs