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J-GLOBAL ID：200902123962934877   整理番号：97A0790685

イオンビームミキシング法によって作製したTi-N系膜の残留応力と諸特性

Residual Stress and Various Characteristics of Ti-N Films Coated by Ion Beam Mixing Technique.

著者 (5件)： 三木靖浩 (奈良県工技セ) ,  荒木弘治 (奈良県工技セ) ,  谷口正 (奈良県工技セ) ,  西端裕史 (関西大 大学院) ,  薬師寺正雄 (関西大 工)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 46  号： 8  ページ： 933-938  発行年： 1997年08月 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオンビームミキシング法によって工具鋼上に作製したTiN系膜...

シソーラス用語： イオンビーム混合 ,...
準シソーラス用語： 窒化チタン

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分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

引用文献 (20件)：

• 下村順一. 金属表面技術. 1988, 39, 630
• 朝日直達. 金属表面技術. 1987, 38, 329
• 福島正武. 金属表面技術. 1988, 39, 618
• KIUCHI, M. Nucl. Instr. and Meth. 1988, B33, 649
• KIUCHI, M. Nucl. Instr. and Meth. 1989, B39, 166

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビームミキシング ,  作製 ,  Ti ,  残留応力