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J-GLOBAL ID：200902124311845937   整理番号：02A0332925

マイクロ波プラズマCVDで作製したCVDダイヤモンドの電界電子放出特性

Field Emission Properties of CVD Diamond Fabricated by Microwave Plasma CVD.

著者 (2件)： 坂本幸弘 (千葉工大) ,  高谷松文 (千葉工大)
資料名： 千葉工業大学研究報告 理工編  (Report of Chiba Institute of Technology)
号： 49  ページ： 27-30  発行年： 2002年03月25日 
JST資料番号： G0641A  ISSN： 0385-7026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマCVDにより種々の反応ガス系(CH<sub...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波プラズマCVD ,  作製 ,  CVDダイヤモンド ,  電界電子放出