文献

J-GLOBAL ID：200902124389033157   整理番号：00A0835575

極低温基板上の薄膜成長における前蒸着原子への衝突原子の衝突の重要性

The Importance of the Collision of Impinging Atoms to Predeposited Atoms in Thin-Film Growth on a Cryogenic Substrate.

著者 (2件)： MORIKAWA H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  IWATSU F (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 39  号： 8B  ページ： L881-L883  発行年： 2000年08月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極低温におけるWチップ上のMo蒸着を電界イオン顕微鏡で観察す...

シソーラス用語： *基板温度 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0835575&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (9件)：

• 1) S. C. Wang and G. Ehrlich: J. Chem. Phys. 94 (1991) 4071.
• 2) G. Ehrlich: Surf. Sci. 331–333 (1995) 865.
• 3) H. Morikawa, M. Kokura, F. Iwatsu and T. Terao: Thin Solid Films 54 (1995) 103.
• 4) H. Morikawa, F. Iwatsu and T. Terao: Surf. Sci. 266 (1992) 237.
• 5) H. Morikawa, T. Hara, F. Iwatsu and T. Terao: J. Physique 50 (1989) C8-285.

タイトルに関連する用語 (6件)： 極低温 ,  薄膜成長 ,  蒸着 ,  原子 ,  衝突 ,  重要性