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J-GLOBAL ID：200902124514388574   整理番号：01A0620954

予備酸化およびスパッタリング金属被覆した窒化アルミニウムセラミックスの耐水性

Corrosion Resistance of Aluminum Nitride Ceramics Modified by Pre-Oxidation and Sputtering Metallization in Water in 100°C.

著者 (7件)： 玉井博康 (鳥取県産技セ) ,  浜渦高志 (岡山大) ,  龍門彰仁 (岡山大) ,  谷口人文 (トクヤマ) ,  青木薫 (米子工高専) ,  小田耕平 (米子工高専) ,  吉尾哲夫 (岡山大 環境理工)
資料名： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻： 50  号： 5  ページ： 538-542  発行年： 2001年05月15日 
JST資料番号： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： AlNセラミックは熱伝導率が高く機械強度も優れるため電子材料...

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,...

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分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (11件)：

• BOWEN, P. J. Am. Ceram. Soc. 1990, 73, 724
• GAZIANI, T. Chem. and Phys. 1993, 35, 43
• 川久保隆. 材料. 1989, 38, 300
• TAMAI, H. J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 3216
• JACOBSON, N. S. J. Am. Ceram. Soc. 1993, 76, 3

タイトルに関連する用語 (6件)： 予備酸化 ,  スパッタリング ,  金属被覆 ,  窒化アルミニウム ,  セラミックス ,  耐水性