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J-GLOBAL ID：200902124536445083   整理番号：02A0335922

カラーレジスト膜厚センサ(形Z5CF-350)の開発 カラーレジストのインライン全数検査の実現

Development of Color Resist Thickness Monitor. Realization of Inline Inspection of Color Resist.

著者 (4件)： 江川弘一 (オムロン 技術統括セ) ,  黒川雅裕 (オムロン) ,  水畑伸治 (オムロン) ,  土道和美 (オムロン)
資料名： Omron Technics  (Omron Technics)
巻： 42  号： 1  ページ： 2-7  発行年： 2002年03月20日 
JST資料番号： S0266A  ISSN： 0474-1315  CODEN： OMTKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： パソコン・携帯電話・大型デジタルTVなど,情報機器・デジタル...

シソーラス用語： 液晶ディスプレイ ,...
準シソーラス用語： 膜厚センサ

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分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： カラー ,  レジスト ,  膜厚 ,  形 ,  開発 ,  インライン ,  全数検査