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J-GLOBAL ID：200902124545041793   整理番号：01A0552174

しょうのう炭素をターゲットとしたパルスレーザ蒸着によるダイヤモンド状炭素膜へのりんのドープと欠陥の研究

Phosphorus doping and defect studies of diamond-like carbon films by pulsed laser deposition using camphoric carbon target.

著者 (5件)： MOMINUZZAMAN S M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  EBISU H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  SOGA T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  JIMBO T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  UMENO M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 10  号： 3/7  ページ： 984-988  発行年： 2001年03月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： C₁₀H₁₆Oを...

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,...
準シソーラス用語： 伝導帯 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： しょうのう

タイトルに関連する用語 (9件)： しょうのう ,  炭素 ,  ターゲット ,  パルスレーザ蒸着 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  りん ,  ドープ ,  欠陥 ,  研究