VLSI特集 高解像度リソグラフィー用共役型ツインシフタ位相シフト法

文献

J-GLOBAL ID：200902124637263369 整理番号：94A0125580

VLSI特集高解像度リソグラフィー用共役型ツインシフタ位相シフト法

VLSI Special Feature. Conjugate Twin-Shifter Phase Shift Method for High Resolution Lithography.

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資料名：
巻： 59 号： 148 ページ： 47-50 発行年： 1993年12月
JST資料番号： X0491A ISSN： 0912-5566 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

マスク基板に対してπ/2及び3π/2だけ位相シフトさせる透過...

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固体デバイス製造技術一般

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