高度に規則化したナノポーラスアルミナ薄膜  穴径及び均質性がセンシング能力に及ぼす影響

VARGHESE O K; ONG K G; PAULOSE M; ONG K G; GRIMES C A; DICKEY E C

文献

J-GLOBAL ID：200902125191467115 整理番号：02A0474765

高度に規則化したナノポーラスアルミナ薄膜穴径及び均質性がセンシング能力に及ぼす影響

Highly ordered nanoporous alumina films: Effect of pore size and uniformity on sensing performance.

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資料名：
巻： 17 号： 5 ページ： 1162-1171 発行年： 2002年05月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

陽極酸化処理によってアルミニウム厚膜上に形成したナノポーラス...

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酸化物薄膜 , 湿度測定,湿度計

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高度に規則化したナノポーラスアルミナ薄膜 穴径及び均質性がセンシング能力に及ぼす影響

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