様々なタイプの二次元AlGaAsフォトニック結晶板の作製と評価

SUGIMOTO Y; IKEDA N; CARLSSON N; ASAKAWA K; KAWAI N; INOUE K

文献

J-GLOBAL ID：200902125238699885 整理番号：02A0243124

様々なタイプの二次元AlGaAsフォトニック結晶板の作製と評価

Fabrication and characterization of different types of two-dimensional AlGaAs photonic crystal slabs.

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資料名：
巻： 91 号： 3 ページ： 922-929 発行年： 2002年02月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電子ビームリソグラフィーとドライエッチングで,格子定数が32...

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量子光学一般

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