文献
J-GLOBAL ID：200902125423508417 整理番号：94A0195423
Ta
2
O
5
膜の電気的特性に及ぼす添加元素の効果 (1)
Effect of additive elements on electrical properties of Ta
2
O
5
films. (1).
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著者 (2件)：
藤川久喜
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,
多賀康訓
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資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
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巻：
54th
号：
2
ページ：
395
発行年：
1993年09月
JST資料番号：
Y0055A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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