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J-GLOBAL ID：200902125559409617   整理番号：00A0163794

非対称バイポーラ直流パルスプラズマにより作製したダイヤモンド状炭素被覆

Diamond-like carbon coatings prepared in an asymmetric bipolar pulsed d.c. plasma.

著者 (3件)： DEKEMPENEER E H A (Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek, Mol, BEL) ,  MENEVE J (Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek, Mol, BEL) ,  SMEETS J (Vlaamse Instelling voor Technologisch Onderzoek, Mol, BEL)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 120/121  ページ： 692-696  発行年： 1999年11月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きな体積の反応容器により化学蒸着を行うためにCH<sub>...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： 非対称 ,  バイポーラ ,  直流 ,  パルスプラズマ ,  作製 ,  ダイヤモンド状炭素