文献

J-GLOBAL ID：200902125564244804   整理番号：99A0205194

湿-乾混合エッチング工程により作製した横結合歪みMQWリッジ導波路分布帰還半導体レーザ

Laterally Coupled Strained MQW Ridge Waveguide Distributed-Feedback Laser Diode Fabricated by Wet-Dry Hybrid Etching Process.

著者 (6件)： WATANABE Y (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  CHEN N (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  TAKEI K (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  CHIKUMA K (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  FUTAKUCHI N (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAKANO Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 10  号： 12  ページ： 1688-1690  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビームリソグラフィーとハイブリッドエッチング技術を用いて...

シソーラス用語： *分布帰還形レーザ ,...
準シソーラス用語： リッジ導波路 ,...

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分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (8件)： エッチング工程 ,  作製 ,  歪み ,  MQW ,  リッジ導波路 ,  分布 ,  帰還 ,  半導体レーザ