文献

J-GLOBAL ID：200902125775198124   整理番号：93A0705376

光電子による空間の超清浄化

Super Cleaning of Space by Photoelectron.

著者 (4件)： 藤井敏昭 (荏原総研) ,  鈴木英友 (荏原総研) ,  足立元明 (大阪府大) ,  坂本和彦 (埼玉大)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 12th  ページ： 267-273  発行年： 1993年04月 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液晶,半導体をはじめとする先端産業では,各種微細加工工程や高...

シソーラス用語： 光電子放出 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0705376&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0789A") }}

分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 光電子 ,  清浄化