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J-GLOBAL ID：200902125933288179   整理番号：00A1055815

エーロゾル堆積により作製したマイクロアクチュエータ用Pb(Zr,Ti)O₃厚膜の圧電特性とポーリングの効果

Piezoelectric properties and poling effect of Pb(Zr,Ti)O₃ thick films prepared for microactuators by aerosol deposition.

著者 (2件)： AKEDO J (AIST, MITI, Ibaraki, JPN) ,  LEBEDEV M (AIST, MITI, Ibaraki, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 77  号： 11  ページ： 1710-1712  発行年： 2000年09月11日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ステンレス及びPt/Ti/SiO₂/S...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (11件)： エーロゾル ,  堆積 ,  作製 ,  マイクロアクチュエータ ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  厚膜 ,  圧電特性 ,  ポーリング