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J-GLOBAL ID:200902126123799661   整理番号:96A0145507

新しいエキシマ光源とその将来

Newly Developed Light Sources by Excimers and Thier Potential Applications.
著者 (1件):
資料名:
巻: 23  号: 12  ページ: 1056-1067  発行年: 1995年12月 
JST資料番号: X0335A  ISSN: 0387-0200  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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VUV領域の新しいエキシマ光源を希ガスエキシマとイオン状態ハ...
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分類 (3件):
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気体レーザ  ,  光源  ,  レーザの応用 
引用文献 (43件):
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