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J-GLOBAL ID：200902126322396193   整理番号：94A0139859

アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第1報) 除去機構とポリシング特性に及ぼすポリシャの種類の影響

Studies on High Flatness Polishing of Magnetic Disk Substrate with Al₂O₃ Abrasives. (1st Report). Polishing Mechanism and Influence of Polisher Type on Polishing Results.

著者 (4件)： 安井平司 (熊本大 工) ,  佐藤郁 (熊本大 大学院) ,  松永竜二 (熊本大 大学院) ,  小林深 (九州松下電器)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 1  ページ： 128-132  発行年： 1994年01月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 磁気ディスクは小型化,高密度化の要求が強く,表面の微小なうね...

シソーラス用語： アルミナ ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (3件)：

• 1) 例えば, 三橋眞成 : 磁気ディスク基板の研磨加工, 精密機械, 51, 9 (1985) 1744.
• 2) 佐藤 郁, 安井平司, 山下忠興, 小林深 : 高精密ポリシソグに関する研究, 1990年度精密工学会長崎地方講演会, (1990) 61.
• 3) 例えば, 福井茂寿, 木暮賢司, 三矢保永 : 走行面のうねりに対する浮動スライダの追従特性, 日本機械学会論文集, 51,469, C (1985) 2291.

タイトルに関連する用語 (5件)： アルミナ ,  砥粒 ,  磁気ディスク基板 ,  ポリシング ,  研究