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J-GLOBAL ID：200902126509646096   整理番号：02A0202638

ヘリコン波による高密度プラズマ生成の最近の話題

Recent Topics on High Density Plasma Production by Helicon Waves.

著者 (1件)： 篠原俊二郎 (九大 大学院総合理工学研究院)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 78  号： 1  ページ： 5-18  発行年： 2002年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波(RF)領域のヘリコン波を用いると,他のプラズマ源より...

シソーラス用語： *プラズマ生成 ,...
準シソーラス用語： 高密度プラズマ ,...

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分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (149件)：

• [1] M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (John Wiley & Sons, Inc., New York, 1994).
• [2] S. Shinohara, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 4695 (1997), and references therein.
• [3] R.W. Boswell and F.F. Chen, IEEE Trans. Plasma Sci. 25, 1229 (1997), and references therein.
• [4] F.F. Chen and R.W. Boswell, IEEE Trans. Plasma Sci. 25, 1245 (1997), and references therein.
• [5] 庄司多津男, 坂和洋一 : プラズマ•核融合学会誌 74, 29 (1998) (参考文献あり).

タイトルに関連する用語 (3件)： ヘリコン波 ,  高密度プラズマ ,  話題