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J-GLOBAL ID：200902126608844797   整理番号：00A0993843

ガスアバランシェ装置の製作のためのLIGA過程の応用

Application of the LIGA Process for Fabrication of Gas Avalanche Devices.

著者 (9件)： KIM H K (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  JACKSON K (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  HONG W S (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  PARK I J (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  HAN S H (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  KADYK J (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  PEREZ-MENDEZ V (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  WENZEL W (Lawrence Berkeley National Lab., CA) ,  CHO G (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Teajon, KOR)
資料名： IEEE Transactions on Nuclear Science  (IEEE Transactions on Nuclear Science)
巻： 47  号： 3,Pt.2  ページ： 923-927  発行年： 2000年06月 
JST資料番号： C0235A  ISSN： 0018-9499  CODEN： IETNAE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 鋭い壁のある小穴のアレイ検出器を深いX線リソグラフィー法ある...

シソーラス用語： *放射線検出器 ,...
準シソーラス用語： 光電子増倍器

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分類 (2件)： 素粒子・核物理実験技術一般  (BE01010F) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 製作 ,  LIGA ,  過程 ,  応用