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J-GLOBAL ID：200902127040141911   整理番号：00A0407708

SPV (Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発

Development of SPV (Surface Photo-voltage) Spectroscopy to Observe Finely-prepared Surfaces by Ultraprecision Machining Processes.

著者 (6件)： 山内和人 (大阪大 大学院) ,  杉山和久 (大阪大 大学院) ,  稲垣耕司 (大阪大 大学院) ,  山村和也 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 4  ページ： 630-634  発行年： 2000年04月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： これまでに不可能であった超精密加工表面の電子状態密度を非破壊...

シソーラス用語： *表面粗さ ,...
準シソーラス用語： 表面評価

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• 森勇藏. 極限精密加工技術. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 36
• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究. 精密機械. 1983, 49, 11, 1540
• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工. 精密機械. 1985, 51, 5, 1033
• MORI, Y. Elastic Emission Machining. Precision Engineering. 1987, 9, 123
• MORI, Y. Removal Mechanism in Elastic Emission Machining. Prec. Eng. 1988, 10, 24

タイトルに関連する用語 (4件)： スペクトロスコピー ,  超精密加工 ,  評価法 ,  開発