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J-GLOBAL ID:200902127100816743   整理番号:99A0312103

ディープサブミクロン技術の基礎の取得

Getting to the Bottom of Deep Submicron.
著者 (2件):
資料名:
巻: 1998  ページ: 203-211  発行年: 1998年 
JST資料番号: D0968C  ISSN: 1092-3152  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ディープサブミクロン(DSM)形状によって提示された問題につ...
シソーラス用語:
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分類 (3件):
分類
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集積回路一般  ,  CAD,CAM  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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