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J-GLOBAL ID：200902127128026683   整理番号：99A0747118

有機金属気相エピタクシー(OMVPE)成長のためのモノメチルヒドラジン熱分解

Pyrolysis of monomethylhydrazine for organometallic vapor-phase epitaxy(OMVPE) growth.
著者 (2件)：
LEE R T

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(Univ. Utah, UT, USA)

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STRINGFELLOW G B

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(Univ. Utah, UT, USA)

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資料名：
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

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巻： 204  号： 3  ページ： 247-255  発行年： 1999年07月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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大気圧流体下管状反応槽中のモノメチルヒドラジン(MMHy)の...
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脂肪族化合物

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分類 (1件)：
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半導体薄膜 
(BK14040E)

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有機金属気相エピタクシー

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成長

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モノメチルヒドラジン

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熱分解

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