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J-GLOBAL ID：200902127628446743   整理番号：94A0274177

高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa含有複合酸化物薄膜の作製と電気導電性

Preparation of the Lanthanum Complex Oxide Films Using Radio Frequency Magnetron Sputtering and Their Electrical Conductivities.

著者 (8件)： 山田智 (帝京大 理工) ,  稔野宗次 (帝京大 理工) ,  松本泰道 (熊本大 工) ,  INDAYANINGSIH N (熊本大 工) ,  本坊寿吉 (熊本大 工) ,  佐藤栄一 (宇都宮大 工) ,  白樫高史 (宇都宮大 工) ,  吉原佐知雄 (宇都宮大 工)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 62  号： 3  ページ： 246-250  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： La-Co複合酸化物膜を,Si(111)および石英ガラスを基...

シソーラス用語： 無機材料 ,...
準シソーラス用語： STM【顕微鏡】

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  La ,  酸化物薄膜 ,  作製 ,  導電性