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J-GLOBAL ID：200902127663635605   整理番号：93A0657812

直流グロー放電によるO_sO4ガスからのO_s金属薄膜(SEM試料表面のO_s金属導電被膜)

Osmium metal thin film is mate from osmic acid gas by glow discharge of direct current.

著者 (2件)： 田中昭 (東京慈恵会医大) ,  星野道雄 (東京慈恵会医大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 3  ページ： 1139  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 直流 ,  グロー放電 ,  Os ,  金属薄膜 ,  SEM ,  試料表面 ,  被膜