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J-GLOBAL ID：200902128089168765   整理番号：94A0462969

超音波顕微鏡によるPVD/CVDセラミック被膜の定量的非破壊検査法

Quantitative nondestructive evaluation of PVD/CVD ceramic coatings by acoustic spectro microscopy.

著者 (3件)： AIZAWA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ITOH M (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KIHARA J (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Advanced Technology of Plasticity 1993, Vol.1  (Advanced Technology of Plasticity 1993, Vol.1)
ページ： 134-139  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19940436  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PVDやCVDで表面処理した工具の表面部を非破壊で定量的に評...

シソーラス用語： 非破壊検査 ,...
準シソーラス用語： 窒化チタン

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分類 (4件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  切削一般  (QC02010V) ,  塑性加工一般  (WC04010P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波顕微鏡 ,  PVD ,  CVD ,  セラミック ,  被膜 ,  定量 ,  非破壊検査法