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J-GLOBAL ID：200902128495182841   整理番号：99A1015589

レーザ回折法を用いた格子の高精密ピッチ校正

High precision pitch calibration of gratings using laser diffractometry.
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著者 (3件)：
MELI F

MELI F について

(Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE)

Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE について

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THALMANN R

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(Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE)

Swiss Federal Office of Metrology, Bern-Wadern, CHE について

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BLATTNER P

BLATTNER P について

(Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)

Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE について


資料名：
Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 1st International euspen Conference, 1999, Vol.2  (Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 1st International euspen Conference, 1999, Vol.2)

Precision Engineering Nanotechnology: Proceedings of the 1st International euspen Conference, 1999, Vol.2 について


ページ： 252-255  発行年： 1999年 
JST資料番号： K19990396  ISSN： 0945-0769  ISBN： 3-8265-6085-X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
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