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J-GLOBAL ID：200902128497721677   整理番号：99A0121618

液晶ディスプレイ用Al-Nd系合金配線薄膜および同合金スパッタリングターゲットの開発

Developments in Al-Nd Alloy Interconnections and Sputtering Targets for Liquid Crystal Displays.

著者 (4件)： 大西隆 (神戸製鋼所) ,  岩村栄治 (神戸製鋼所) ,  高木勝寿 (神戸製鋼所) ,  吉川一男 (コベルコ科研)
資料名： R&D神戸製鋼技報  (R&D/神戸製鋼技報)
巻： 48  号： 3  ページ： 29-34  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： F0164A  ISSN： 0373-8868  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高性能LCDでは配線に対してより一層の低抵抗化が求められてい...

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化 ,...

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分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  電気的性質  (WB02010Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 液晶ディスプレイ ,  Al ,  Nd ,  合金 ,  薄膜 ,  スパッタリングターゲット ,  開発