陽極酸化による単結晶Siミクロ構造の製作

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J-GLOBAL ID：200902128786382457 整理番号：97A0262660

Fabrication of Single-Crystal Si Microstructures by Anodization.

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巻： 35 号： 12B ページ： 6648-6651 発行年： 1996年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

Siを含むミクロ構造の製作で陽極酸化プロセスの応用性を検討し...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (4件)：

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