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J-GLOBAL ID：200902128928553963   整理番号：95A0101217

アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究(第2報) 除去速度と微小うねりに及ぼすポリシング条件の影響

Studies on High Flatness Polishing of Magnetic Disk Substrate with Al₂O₃ Abrasives(2ne Report). Influence of Polishing Conditions on Removal Rate and Slight Undulation.

著者 (4件)： 安井平司 (熊本大 工) ,  佐藤郁 (熊本大 大学院) ,  松永竜二 (熊本大 大学院) ,  鈴木幸雄 (熊本大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 11  ページ： 1631-1636  発行年： 1994年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アルミナ砥粒を用いて数nmオーダの高平滑面を形成するポリシン...

シソーラス用語： アルミナ ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (1件)：

• 1) 安井平司, 佐藤 郁, 小林 深 : アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第1報), 精密工学会誌, 60, 1 (1994) 128.

タイトルに関連する用語 (8件)： アルミナ ,  砥粒 ,  磁気ディスク基板 ,  ポリシング ,  研究 ,  除去速度 ,  微小 ,  うねり